潔凈室又稱無(wú)塵室, 是一種特殊設(shè)計(jì)和建造的環(huán)境。主要目的是在制造、科學(xué)研究或其他需要高度潔凈和控制的應(yīng)用中，提供一個(gè)極低微粒和污染物水平的空氣環(huán)境。 例如：在半導(dǎo)體、光電面板的制造過(guò)程中，被加工件的導(dǎo)電性能會(huì)被環(huán)境中的金屬離子破壞掉，潔凈室可避免這種情況的發(fā)生。 潔凈室依據(jù)潔凈程度，可劃分為零級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)乃至十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)，其中數(shù)值越低，代表潔凈室的等級(jí)越高。 潔凈室的運(yùn)營(yíng)條件苛刻且復(fù)雜，不僅需將空氣中的微粒子、有害氣體、有機(jī)質(zhì)等污染物進(jìn)行排除，更需通過(guò)復(fù)雜的控制方式將影響[登陸后可查看全文]