潔凈室又稱無塵室, 是一種特殊設計和建造的環境。主要目的是在制造、科學研究或其他需要高度潔凈和控制的應用中,提供一個極低微粒和污染物水平的空氣環境。
例如:在半導體、光電面板的制造過程中,被加工件的導電性能會被環境中的金屬離子破壞掉,潔凈室可避免這種情況的發生。
潔凈室依據潔凈程度,可劃分為零級、十級、百級、千級、萬級乃至十萬級、三十萬級,其中數值越低,代表潔凈室的等級越高。
潔凈室的運營條件苛刻且復雜,不僅需將空氣中的微粒子、有害氣體、有機質等污染物進行排除,更需通過復雜的控制方式將影響
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