1 引言
太陽能作為綠色清潔能源有著廣泛的應用前景和發展潛力。目前國內太陽能行業正在蓬勃發展，主要以單晶硅，多晶硅，和非晶硅產品為主。其中非晶硅產品以價格低廉，污染小，制造成本低等優點受到廣泛關注。對非晶硅太陽能電池的制造設備的需求也在不斷增加。包括等離子體化學氣相沉積設備(PECVD)和物理氣相沉積設備(PVD)下文稱PVD等主要設備。本文提供了用西門子的S7-300和WINCC作為PVD控制系統的方案。
WinCC即Windows Control Center(視窗控制中心)，是一個功能強大的全面開放的上位機監控系統，既可以用于
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