Ezi-Servo是采取光學編碼器的反饋,并采用步進電機驅動,使其可以在低速之下擁有高精度,并保有步進的高扭力,更適用于如量測儀器、光學、傳輸帶、機械手臂等剛性較低的機構上。由于擁有步進停下時最大的保持力矩,到位時不抖動,與伺服相較起來亦有快速的穩定性,避免整定晃動的問題。
目前Ezi-Servo已成功使用在TFT八代廠注膠、框膠與點膠等設備中。在取放晶圓的機械手臂應用中(直接驅動,不像一般伺服電機須加裝諧和式減速機),大幅節省成本并提高效能,在市場上可取代大部份伺服及步進電機,性價比極高進而
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