6月27日,深圳平湖實驗室 聯合深圳市鵬進高科技有限公司,在國產寬禁帶半導體功率器件領域取得重大突破,其成功攻克1200V溝槽柵碳化硅MOSFET芯片核心技術難題,并構建了8英寸工藝平臺,實現自主知識產權8英寸高性能1200V溝槽柵碳化硅MOSFET芯片的成功流片,其專利公開號為CN118610269A。
圖片來源:深圳平湖實驗室
圖為8英寸高性能溝槽柵SiC MOSFET結構(專利)示意圖及芯片剖面圖
該芯片的靜態性能指標實現了業內領先的低比導通電阻(<2.1mΩ·cm²),優于國際主流高可靠廠商的技術水平(如
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