12月16日,哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)消息,該校集成電路學(xué)院教授宋清海、周宇團(tuán)隊(duì)在碳化硅集成光量子糾纏器件領(lǐng)域取得新突破,將進(jìn)一步推進(jìn)集成光量子信息技術(shù)在量子網(wǎng)絡(luò)和量子傳感領(lǐng)域的應(yīng)用。相關(guān)研究成果于近日發(fā)表在《自然·通訊》上。
研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)在絕緣體上碳化硅材料(SiCOI)上首先制備出單個(gè)電子自旋陣列,并通過(guò)精細(xì)操控展示了這些自旋的相干特性。
同時(shí),研究團(tuán)隊(duì)將特殊的碳化硅(SiC)外延層晶圓與氧化硅晶圓結(jié)合,通過(guò)磨削和拋光技術(shù)將碳化硅層減薄到200納米。
隨后,研究團(tuán)隊(duì)利用離子注入技術(shù),在碳化硅層
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