日本住友化學工業株式會社開發了一種孔隙輔助分離(PAS)法,用于制造自支撐氮化鎵(GaN)襯底[Masafumi Yokoyama et al Appl. Phys. Express, v17, p055502, 2024]。
 
研究人員評論道:“我們預計,所提出的方法將為實現具有良好生產率的更大尺寸自支撐GaN襯底開辟一條道路。”
 
住友認為,要想應對人類活動對全球氣候的不良影響,提高電氣系統的功率轉換效率是其中一個關鍵因素。基于GaN的器件正是為此目的而開發,因為與硅等傳統電子材料相比,這種寬禁帶材料能夠承受更大的電壓和功率密度。
 
研究
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