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光刻技術首次繪出銀納米結構
光刻技術首次繪出銀納米結構
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德國柏林亥爾姆茨材料和能源研究中心與聯邦材料測試與研究機構合作,首次在銀材料底層上完成光刻納米結構,為未來光計算機數據處理、新型電子器件制造開辟了新的途徑。這項成果刊登在美國化學學會的《應用材料和界面》雜志上。 要想在材料表面獲得精細結構圖樣,最佳選擇是采用電子顯微鏡掃描技術,利用電子束在其表面進行復雜的光刻。這項技術已應用在鉑、金、銅等許多金屬材料納米結構制作上,但還沒有成功應用于銀材料。銀在電子工業領域有著廣泛應用前景。 此次,研究小組成功地利用光刻技術在銀材料上制作
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