1 引言
隨著現代制造業加工水平的不斷提高，對各類自動化設備的精度也提出了越來越高的要求。傳統的伺服電機系統一般都采用半閉環控制方式，即通過伺服電機自身的編碼器檢測機械末端負載的位置并進行控制。雖然，伺服電機自帶的編碼器的精度非常高，但由于伺服電機通常需要通過多級機械傳動來控制末端負載進行運動，而機械傳動機構又不可避免地存在諸如反向間隙、機械磨損、受力形變、安裝精度等問題，從而導致機械末端負載的實際位置與目標位置之間存在誤差。因此，在許多高精度、高可靠性應用場合，通常采取在末端負載處安
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