由于現時廠家大都面對高混合的生產環境,如果能在同一條生產線上,可以同時進行標準貼裝、裸晶貼裝、及倒裝晶片,就是最好不過的了。
Innova直接晶圓送料器就是最佳的配搭,它可以用于混合電路或感應器、多芯片模組、系統封裝、以及RFID和3D裝配。
Innova直接晶圓送料器的一大特色,就是可以豎著進料,節省空間,一臺貼片機可以安裝多個送料器。當晶圓上載至送料器后,會自動確定位置,再經視覺系統準確定位。Innova采用墨水點識別或晶片圖形布置,來確保只會從晶圓中抽取良好的裸晶片。
以下視頻,向大家展示如何上載晶圓至Innova。
從晶圓至貼片機的工序如下:
1. 裸晶片從晶圓彈出
2. 經由拾取頭拾取
3. 裸晶片被放置在倒裝器中
4. 倒裝器將裸晶片上下翻轉,附在傳送吸嘴上,然后放在傳送器上
5. 傳送器將已被篩選的晶片,傳送至貼片機,拾取晶片進行組裝
6. 如果不用倒裝,裸晶片就會被旋轉90度后,經拾取頭直接放在傳送器上
Innova優點
l 可直接導入倒裝芯片及晶圓級裸晶片來進行拾取及貼裝
l 可在同一平臺上進行倒裝芯片、裸晶片及表面貼裝工序
l 具備單一晶圓送料(Innova),或13個晶圓送料(Innova +)
l 無需上游晶圓分選
l 系統封裝應用的最佳方案
l 支持最大達300毫米的晶圓
l 支持墨水和無墨水晶圓片陣列測繪
l 晶圓擴張深度:可編程(Innova +),由夾圈固定(Innova)
l 可直接導入倒裝或不倒裝芯片
l 具備晶片追蹤功能
l 新品導入或量產的最佳方案
Innova直接晶圓送料器參數
最佳生產速度(uph) |
倒裝芯片:1毫米晶圓每小時最高4,700個元件 直接晶片:1毫米晶圓每小時最高4,000個元件 |
送料精準度 (Cpk ~1) |
X、Y = ± 0.15毫米 @ 3s / ±27.0° (已對應1.0毫米晶片) |
晶圓規格 |
最大尺寸:300毫米 (12”) 最小尺寸:100毫米 (4”) 擴張深度:6.35毫米、6.0毫米、0.0毫米 (無擴張) |
視覺識別 |
國值分割、模式匹配、角檢測、焊接錫球檢測、晶圓陣列測繪 |
晶片尺寸 |
最小尺寸(長 x 寬):0.7毫米x 0.7毫米(0.027” x 0.027”) 最大尺寸(長 x 寬):11.0毫米x 11.0毫米(0.43” x 0.43”) 最小厚度:75微米(0.003”) 最大厚度:4.0毫米(0.163” 額定) 晶片材料:硅、砷化鎵、陶瓷、玻璃 球體類型:錫球、柱形球 |
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