近日，恒益公司成功利用2011年11月引進的數控小工具拋光機床設備，完成了600mm干涉儀標準鏡的精密拋光，實現了反射表面精度優于PV λ/10（λ=0.6328nm）的高精度加工。這標志著恒益公司光學加工具備了利用數控拋光技術加工高精度平面光學元件的技術能力，在冷加工傳統拋光工藝的基礎上取得了突破性進展。

     為在傳統光學冷加工的基礎上提升光學精密加工能力，滿足上海光機所在重大科研工程中大口徑光學元件的超精密加工需求，恒益公司于2011年11月份引進了國防科技大學的數控小工具拋光機床。該機床采用計算機控制光學表面成形技術（Computer Controlled Optical Surfacing , CCOS）對光學材料進行確定性去除拋光，具有比傳統拋光工藝更高的切削效率，且可以解決傳統拋光很難去除的局部面形誤差，有效提高元件拋光面形的精度指標，是一種高精度且高效的新型加工工藝。

     該數控小工具拋光機床是恒益公司引進的第一臺數控光學鏡面加工設備。在引進數控小工具拋光機床后，恒益公司組織了一支青年隊伍積極開展新設備和新工藝的研究和試生產。設備于2011年11月份進場，12月份調試完畢，之后開展了大量的工藝實驗，在較短的時間內掌握了數控小工具拋光機床的工藝技術，成功地將一塊600mm口徑的熔石英玻璃拋光到表面PV 0.098λ（波前梯度GRMS 0.0054λ/cm），將一塊600mm口徑的微晶玻璃拋光到表面PV 0.105λ（波前梯度GRMS0.0049λ/cm），基本達到了進口ZYGO24吋平面干涉儀標準鏡的最高精度。

     基于在大鏡面傳統光學冷加工方面的技術優勢，恒益公司順利完成了前期神光裝置所需的大量的平面、球面和非球面鏡光學加工。本次數控小工具拋光機床設備的引進及計算機數控光學表面成型技術的掌握，進一步提高了恒益公司為重大科研工程提供大口徑光學元件超精密加工的技術能力。