H-850KMLD 6足定位系統在XY軸方向100mm的行程范圍提供1µm的最小增量運動，在Z軸方向上提供0.5µm的最小增量運動。3個線性軸上的的重復度為±1 µm，旋轉軸上的重復度為±5µrad/9µrad。
所有的Physik Instrumente 6足系統出廠時都配有特殊的6足控制器和大量的軟件包，易于使用和集成。專用的C-887六足多軸矢量控制器直接接受笛卡爾坐標系下的指令。用戶可以用一個軟件命令指定空間中的隨機支點，該功能是自動光學和機械校準應用的關鍵。 Microsoft Windows或Linux下的LabVIEW和基于文本的編程語言由庫和程序實例來支持。
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