半導(dǎo)體行業(yè)困局

•如何在摩爾定律持續(xù)演進(jìn)的情況下，對設(shè)備精度和性能提出更高要求？

•如何滿足半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)突破路徑呈現(xiàn)出多元化和差異化特征？

•如何助力半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)從單機(jī)臺突破創(chuàng)新到平臺式創(chuàng)新的轉(zhuǎn)變？

倍福為您破局

01  EtherCAT

快速、開放、享譽全球

EtherCAT 是倍福的超高速工業(yè)以太網(wǎng)技術(shù)。自 2003 年以來，它在速度和同步精度方面樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)，如今已被認(rèn)為半導(dǎo)體行業(yè)的全球標(biāo)準(zhǔn)。

✓ 超高速、可靠的通信標(biāo)準(zhǔn)

✓ 保持技術(shù)的永久兼容性

✓ 專為極端嚴(yán)苛應(yīng)用環(huán)境量身打造的創(chuàng)新解決方案

02  XPlanar 平面磁懸浮輸送系統(tǒng)

高度靈活的晶圓輸送

有了 XPlanar，您的生產(chǎn)部件可以在一個工具內(nèi)以及在幾臺設(shè)備間以自由懸浮的方式輸送：它具有高動態(tài)性，且無抖動，同時提供最高精度和前所未有的移動靈活性。

✓ 自由懸浮的動子，能夠以最大 2 m/s 的速度無抖動地輸送零件

✓ 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面

✓ 實現(xiàn)靈活的零件輸送，擺脫固定工位序列的束縛

03  EtherCAT 插拔式模塊及測量模塊

降低成本

倍福產(chǎn)品系列全方位滿足半導(dǎo)體行業(yè)的所有型號采集需求：從每秒測量一次到每秒測量數(shù)千次，從電壓和電流測量到溫度和壓力測量。而倍福的 I/O 專業(yè)技術(shù)可以更高效地幫助您打造出適用于批量生產(chǎn)的自動化系統(tǒng)。

✓  EJ 系列 EtherCAT 模塊 | 插拔式設(shè)計便捷高效，緊湊、取代了復(fù)雜、專用的 I/O 信號板，并且消除了錯誤接線的風(fēng)險

✓  ELM 系列 | 高端測量模塊被集成到 EtherCAT I/O 系統(tǒng)中，在記錄過程關(guān)鍵測量通道數(shù)據(jù)時也表現(xiàn)出極高的可靠性。

✓  TwinCAT Scope | 能夠以圖形化方式精確顯示個位數(shù)微秒范圍內(nèi)的測量信號

04  TwinSAFE 全集成安全解決方案

為 EtherCAT 系統(tǒng)量身定制的安全解決方案

倍福的 TwinSAFE 為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)量身定制的安全解決方案，打破了控制技術(shù)領(lǐng)域長期存在的“安全功能”和“非安全功能”分離局面，在實施過程中表現(xiàn)出高度靈活性和可擴(kuò)展性。有了 TwinSAFE，就能夠根據(jù)不同的應(yīng)用需求與實施方式，將各種所需的安全功能靈活地集成到任何控制架構(gòu)之中。最后可以根據(jù)您的具體需求量身定制完整的安全解決方案。

✓ 為實施定制化安全應(yīng)用提供全面的軟件支持

✓ Safety over EtherCAT  助力實現(xiàn)開放性和靈活性

✓ 適用于所有應(yīng)用領(lǐng)域的 TwinSAFE 邏輯的組件

05  針對半導(dǎo)體行業(yè)的中央控制解決方案

實現(xiàn)高度模塊化設(shè)計以及多功能性

基于 PC 的控制技術(shù)使用可滿足各種性能等級需求的工業(yè) PC 完成所有控制任務(wù)。包括過程控制、HMI 集成、運動控制以及機(jī)器人技術(shù)、安全和測量技術(shù)以及視覺和物聯(lián)網(wǎng)集成領(lǐng)域的所有控制任務(wù)。結(jié)合模塊化且具備實時能力的 TwinCAT 軟件平臺以及 EtherCAT 超高通信系統(tǒng)，基于 PC 的控制技術(shù)可為您的晶圓廠打造出一種既強(qiáng)大又具備前瞻性的自動化解決方案。

✓  開放式架構(gòu)可實現(xiàn)最大的設(shè)計自由度和定制化解決方案

✓  強(qiáng)大的實時環(huán)境，可自動執(zhí)行所有控制任務(wù)

✓  通過自由選擇和集成高性能的工業(yè) PC，可以根據(jù)具體的應(yīng)用需求輕松進(jìn)行擴(kuò)展

總結(jié)

從打破半導(dǎo)體技術(shù)瓶頸到引領(lǐng)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)突破路徑，從單點設(shè)備突破到全產(chǎn)鏈智能化重構(gòu)，倍福正以開放架構(gòu)、精準(zhǔn)控制與創(chuàng)新產(chǎn)品，完成半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)實現(xiàn)高可靠性，高速度，高精度的設(shè)備需求，共赴半導(dǎo)體智能制造新征程。