電子發燒友網統計了北方華創、中微公司、盛美上海、華海清科、拓荊科技、京儀裝備、中科飛測、芯源微、耐科裝備等九家半導體設備企業的2025年Q1財報看到，除了拓荊科技、中科飛測、芯源微，大部分企業都能實現營收、凈利潤的增長，其中盛美上海、華峰測控的凈利潤分別增長了207.21%、164.23%，是增長最為明顯的兩家企業。

圖：2025年Q1半導體設備公司業績

前三大企業多款新產品關鍵技術突破、工藝覆蓋存儲與邏輯芯片

從營收來看，北方華創、中微公司、盛美上海是此次統計的企業中營收排名前三的半導體設備企業。

北方華創單季度營收達到82.06億元，同比增長37.9%。增長的主要原因是電容耦合等離子體刻蝕設備（CCP）、原子層沉積設備（ALD）、高端單片清洗機等多款新產品實現關鍵技術突破，工藝覆蓋度顯著增長，同時多款成熟產品市場占有率穩步提升。

隨著營收規模和訂單的持續擴大，規模效應逐漸顯現，其凈利潤也實現同比增長38.8%，達到15.81億元。北方華創預計公司凈利潤率有一定的上行空間。

北方華創的集成電路設備包括刻蝕、薄膜沉積、爐管、清洗等多種工藝設備，可以滿足邏輯、存儲等不同領域客戶多種技術的需求。在投資者關系活動中，北方華創董事會秘書、副總裁王曉寧表示，國內存儲產線擴產會帶動公司訂單較快增長。公司新建的半導體裝備臺馬基地已建成投入使用，可以匹配產能增長的需求。

中微公司第一季度營業收入繼續保持高速增長，同比增長35.40%，達到21.73 億元。中微公司針對先進邏輯和存儲器件制造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，先進邏輯器件中段關鍵刻蝕工藝和先進存儲器件超高深寬比刻蝕工藝實現量產。公司為先進存儲器件和邏輯器件開發的六種薄膜設備已經順利進入市場。

盛美上海在第一季度實現營業收入13.06億元，同比增長41.73%，凈利潤2.46億，同比增長207.21%。盛美上海表示這主要是因為公司憑借技術差異化優勢，成功把握市場機遇，積累了充足訂單儲備;本期公司銷售交貨及調試驗收工作高效推進。同時產品系列日趨完善，滿足了客戶的多樣化需求。

盛美上海主要提供半導體清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD 設備、后道先進封裝設備以及硅材料襯底制造工藝設備等。其中，公司的爐管設備產品正逐步進入更多內存和邏輯芯片客戶的生產線中。

2024年8月，盛美上海推出新型面板級電鍍設備Ultra ECP ap-p，采用盛美上海自主研發的水平式電鍍，確保面板具有良好的均勻性和精度。盛美上海是首個將水平式電鍍應用到面板的廠商之一，憑借上述技術，公司能夠在面板中實現亞微米級先進封裝。當前已多家主要半導體領先企業選擇面板作為其AI芯片封裝的解決方案，盛美上海的新型面板級電鍍設備Ultra ECP ap-p將在市場中迎來機會。

國產設備商技術突圍背后的代價：投入占比集體飆升

從凈利潤來看，在此次統計的企業中，中科飛測、芯源微、拓荊科技出現凈利潤下滑。相較中科飛測和芯源微的凈利潤下降幅度，拓荊科技在第一季度的凈利潤出現1503.33%的同比下滑，虧損1.47億，出現“爆雷”，毛利率下降至19.89%。

拓荊科技在第一季度業績財報中沒有過多的解釋，只提到該季度新產品、新工藝的設備銷售收入占比近70%，其在客戶驗證過程成本較高，毛利率同比下降。此外，凈利潤的下滑與其高研發投入也有關系，該季度公司研發投入1.59億元，占營業收入的比例為22.38%。

但拓荊科技的營收達到7.09億元，同比增長達到50.22%，是除了京儀裝備，營收增長最為明顯的企業，營收增長可觀。若是接下來能夠實現回正，凈利潤也將隨之邁向新臺階。

中科飛測該季度的營業收入為2.94億元，同比增長24.89%，凈利潤同比下滑了143.69%，系研發費用大幅提升，研發投入1.2億元， 同比增長64%，研發投入占營業收入的比例為40.91%，較上年同期增加9.75個百分點。

芯源微是國內涂膠顯影設備、單片式濕法設備龍頭，該季度實現歸母利潤466萬，同比下降70%；公司表示，“但總體來看，公司每年一季度營收端都是淡季，對全年的指標性意義不是很強。公司一季度新簽訂單情況良好。”該季度芯源微的研發投入增加4.58個 百分點。

半導體設備行業是典型的技術密集型和資本密集型高研發投入行業，使得企業在持續進行技術創新和產品升級的過程中，面臨著巨大的資金壓力。例如除了上述三家公司，中微公司在該季度的研發投入也隨著市場需求的增加顯著提升，研發投入約6.87億元，較上年同期增加3.26億元，同比增長約90.53%。耐科裝備的研發投入同比增加了57.16%。華海清科也正投入大量資金用于新產品研發以及產能擴張，以進一步提升公司的經營規模和產品競爭力，華海清科布局的離子注入項目也在陸續推廣。

但在另一方面，這些研發投入都為盛美上海、芯源微、拓荊科技等企業帶來了市場競爭優勢。

在應用領域中，中科飛測前道制程尤其是先進制程產品占比相對較高，推動了一季度的毛利率上升。同時，新增訂單方面，在HBM等新興的先進封裝領域獲得了積極的市場反饋。從產品結構來看，暗場納米圖形晶圓缺陷檢測設備成為新增訂單占比最大的設備系列之一，預計未來將成為重要的增長點。從制程工藝來看，先進制程的收入和訂單占比快速提升，已超過50%，成為公司增長的主要來源。

今年4月，中科飛測宣布公司的先進制程明場納米圖形晶圓缺陷檢測設備REDWOOD-900再次出貨頭部客戶。產品采用高數值孔徑物鏡（NA≥0.95）和高速圖像采集系統，檢測精度達 10nm 級，可適配 FinFET、GAA 等先進晶體管結構及 3D NAND 堆疊層檢測，在國內先進制程高端檢測設備領域實現了從0到1的突破，填補了國內市場的空白。

第三代半導體已成為全球科技競爭的戰略高地，其關鍵設備包括MOCVD、高溫退火爐等，當前國內半導體設備廠商同樣在加大研發投入布局該領域。

北方華創在SiC領域主要提供的產品包括SiC長晶爐、外延生長設備、刻蝕設備、薄膜沉積設備、高溫激活/氧化/合金、清洗設備等，長期以來國內市占率一直保持領先地位。其中，SiC長晶爐國產化率小于20%，北方華創市占率約為15%。此外，北方華創還在8英寸SiC襯底上實現了無缺陷的超結器件高縱深比溝槽刻蝕（>5:1），以及溝槽柵SiC MOSFET器件的圓角溝槽刻蝕。