一種耐高溫智能壓阻式內燃機壓力檢測儀，其特征在于：由連接頭、散熱片、傳感器散熱片、耐高溫壓力傳感器、信號處理電路、外接導線和液晶顯示屏組成，從左至右依次為連接頭、散熱片、傳感器散熱片、耐高溫壓力傳感器、外接導線，各部分之間通過螺紋緊固連接，信號處理電路安裝在耐高溫壓力傳感器殼中，通過導線與傳感器芯片相連，液晶顯示屏與外接導線相連。本實用新型創新之處在于取消了機械表式檢測裝置，采用了耐高溫壓阻式壓力傳感器，配置了信號處理電路和8字符液晶顯示屏，使得讀數直觀便于操作、測試精度高和結果更加科學合理，同時具有了多種數據檢測記錄功能，從而研制了耐高溫智能壓阻式內燃機壓力檢測儀。
在壓力傳感器的微細加工技術中要求在樣品背面的掩膜上光刻出壓力腔窗口的圖形而且與正面圖形嚴格對準。待別是在設計時必須將力敏電阻安排在膜內;有時離開膜邊的距離僅為30P”。正反圖形錯開時，力敏電阻條對壓力靈敏度響應便不對稱，甚至有時有可能移到膜外，對壓力便無響應。這種錯位既可以有平移錯動，也可以有角度錯開。一般要求對形誤差小于20。30”M.角度偏差約在30以內。國外目前有成套的大型雙面光刻裝置.正反面對準同時曝光，操作十分方便。國內也進口了這種雙面光刻機，但價格昂貴。因此國內許多研究傳感器工作者提出了簡易的雙面光刻對準技術。對現有朗單面光刻機不作或只作很小的改動，且只需單光源.因而價廉、操作簡便。光刻圖形質量和精度都能滿足要求。
壓力傳感器制造過程是基于法布里珀羅干涉儀的壓力傳感器制造過程更加復雜。首先，硅膜萃取，選擇范圍取決于測試，目前的微型壓力傳感器多用超薄硅片的電影，因為超薄硅片厚度已達到了硅膜厚度，相對的要求對壓力的厚度使用傳統的沉積和犧牲層硅膜技術的進展，但較薄，更高質量的厚度。玻璃加工，玻璃基板材料使用耐熱玻璃，上腔和嵌入式光纖通道是由超聲波鉆探方法進行;同時，它也一直在處理與微加工技術。下一步是在微機電加工技術在玻璃纖維之中。外部用環氧樹脂固定一個金屬環，金屬環和由光纖端面光纖膠粘劑拋光后變得光滑。這一步，關鍵是膠粘劑的選擇，比現有的光學反射膠低，這可以確保該燈不暴露。最后，以一腔和使用方法以及硅膜玻璃陽極鍵合。
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