近期,TMEIC中國(guó)為西部地區(qū)項(xiàng)目供應(yīng)的首批高性能超導(dǎo)磁場(chǎng)和多功能電壓瞬時(shí)補(bǔ)償裝置均已順利上線。TMEIC中國(guó)憑借對(duì)半導(dǎo)體市場(chǎng)需求的深刻了解、成熟的技術(shù)實(shí)力以及完善的后期服務(wù),為西部地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展構(gòu)筑質(zhì)量與安全雙重保障,為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的規(guī)模化與高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)“芯”質(zhì)力量。
01 建廠后首批交付的TMEIC超導(dǎo)磁場(chǎng)
恒定磁場(chǎng) 提質(zhì)增效
半導(dǎo)體生產(chǎn)的前段工藝中,在拉晶爐中使用超導(dǎo)磁場(chǎng)可提高晶體硅質(zhì)量。TMEIC超導(dǎo)磁場(chǎng)(Magnetic field applied Czochralski,簡(jiǎn)稱MCZ)采用鞍型線圈結(jié)構(gòu),構(gòu)成了廣范圍均一水平磁場(chǎng),精準(zhǔn)控制了坩堝內(nèi)融液的對(duì)流,防止了液面浮動(dòng)造成的結(jié)晶缺陷,從而使半導(dǎo)體晶圓拉制過(guò)程能夠生產(chǎn)高質(zhì)量的單晶硅。
TMEIC MCZ具有磁場(chǎng)領(lǐng)域廣,分布均一,精確控氧等特性,能夠顯著提高晶棒的利用率和合格率,助力加速提升半導(dǎo)體制造工藝。通過(guò)為該項(xiàng)目提供超導(dǎo)磁場(chǎng),TMEIC中國(guó)為西部地區(qū)轉(zhuǎn)型升級(jí),引進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈,促進(jìn)信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
卓越團(tuán)隊(duì) 零的突破
TMEIC中國(guó)團(tuán)隊(duì)及MCZ設(shè)備在項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)
02 TMEIC多功能電壓瞬時(shí)補(bǔ)償裝置確保項(xiàng)目供電穩(wěn)定
精細(xì)保電 提升良率
半導(dǎo)體制造聚焦于制程、良率、生產(chǎn)設(shè)備等。在產(chǎn)能爬坡過(guò)程中,良率的關(guān)鍵因素之一就是電能,每一枚微小器件也要經(jīng)過(guò)上千道工序,電源的暫升、暫降、中斷等都將給半導(dǎo)體器件帶來(lái)致命的打擊。同時(shí),大量的高精尖生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)生巨大的電能消耗。
TMEIC中國(guó)為該項(xiàng)目引入超導(dǎo)磁場(chǎng)的同時(shí),還配套提供了多功能電壓瞬時(shí)補(bǔ)償裝置(Multiple Power Compensator,簡(jiǎn)稱MPC),為工廠的整個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)的供電提供安全保護(hù),在電壓暫降、暫升甚至短時(shí)中斷時(shí)確保生產(chǎn)線供電穩(wěn)定。
TMEIC MPC性能參數(shù)優(yōu)異,最快1ms內(nèi)隔離斷開(kāi)暫升,暫降,故障電流,實(shí)現(xiàn)高速、精準(zhǔn)的電壓補(bǔ)償,為產(chǎn)品性能的提升和產(chǎn)能的擴(kuò)大保駕護(hù)航。該解決方案自2002年在日本市場(chǎng)商用以來(lái),創(chuàng)造了客戶負(fù)載電壓暫降零損失的非凡記錄。
TMEIC MPC高效節(jié)能,能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備精細(xì)化保電,將電力保障從粗放無(wú)序提升到了精細(xì)有序的新高度。相比采用傳統(tǒng)依靠UPS進(jìn)行保電的方案,工廠通過(guò)使用TMEIC設(shè)備,工廠的運(yùn)行效率實(shí)現(xiàn)了顯著提升,鏈路中的故障點(diǎn)也明顯減少,系統(tǒng)可靠性得到提升。
TMEIC中國(guó)團(tuán)隊(duì)及MPC設(shè)備在項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)
集成電路是支持中國(guó)經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè),也是實(shí)現(xiàn)雙碳目標(biāo)的重要助力。TMEIC中國(guó)將繼續(xù)深耕探索半導(dǎo)體工藝領(lǐng)域,在保持研發(fā)創(chuàng)新賦能企業(yè)數(shù)字化升級(jí)轉(zhuǎn)型的同時(shí),在人才本地化、產(chǎn)品本地化和生產(chǎn)本地化基礎(chǔ)上,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)市場(chǎng)和服務(wù)本地化,不斷推出更加適應(yīng)中國(guó)消費(fèi)者需求的產(chǎn)品和服務(wù),為中國(guó)制造邁向中國(guó)“智”造注入不竭動(dòng)能。
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