關鍵突破！中國電科48所8英寸碳化硅外延設備再升級

近日，中國電科48所自主研發的8英寸碳化硅外延設備關鍵技術再獲突破。

圖片來源：中國電科

據中國電科官方消息，碳化硅外延爐是第三代半導體碳化硅器件制造的核心裝備之一。此次“全新升級”的8英寸碳化硅外延設備，具備更快、更好、更穩定的特點，通過改進激光視覺定位、晶圓自糾偏等技術，設備自動化性能更加成熟，提升產品生產效率。設備還成功引入新的摻雜技術，進一步提升產品良率，持續降低生產成本。

三義激光：首批碳化硅激光設備正式交付

9月5日，三義激光在官微透露，他們自主研發、生產的首批6&8英寸碳化硅激光滾圓設備順利完成生產并正式交付客戶，標志著公司在高端激光加工設備領域取得了重要進展。

圖片來源：三義激光

據悉，三義激光碳化硅激光設備能利用高能激光束進行精準加工，提高生產效率，降低損耗，提升產品良率，為碳化硅的精細加工提供了高效、精準的解決方案，并具激光非接觸式加工、7×24小時無間斷工作、設備運行無需耗材等優勢。

上海漢虹：制備8英寸碳化硅晶體

8月30日，上海漢虹官微宣布，他們在拉晶實驗室中，使用自行研發制造的碳化硅長晶爐成功拉制出高品質8英寸碳化硅晶體，此晶體具備優良的均勻性和低缺陷密度，直徑達到200毫米標準，電阻率和晶向均符合高端應用要求。

據悉，該晶體的制備使用了上海漢虹自行研發制造的碳化硅長晶爐，采用上進料方式和自動化控制，通過熱場旋轉及熱場工藝穩定性設計，確保晶體生長過程中的溫度均勻性和穩定性，目標為新能源汽車、5G通訊等新興產業的進一步發展提供材料基礎。

天岳先進8英寸碳化硅襯底批量銷售

近日，天岳先進披露了今年上半年財報，公司 2024 年上半年實現營業收入9.12億元，較上年同期增長 108.27%。公司連續9個季度保持營收增長趨勢。上 半年實現歸母凈利潤1.02億元，較上年同期扭虧為盈。

在技術研發上，天岳先進自主擴徑實現了2-8英寸碳化硅單晶和襯底的開發。目前該公司還在開發了液相法長晶技術，這在行業內僅有的極少數。階段性成果顯著，包括公司通過液相法實現了8inchN型4H-SiC單晶及襯底、P型4H-SiC單晶及襯底、N型3CSiC單晶及襯底等制備。

銷售方面，天岳先進在8英寸襯底上進行了前瞻性布局，已經具備先發優勢和領先地位。公司不僅實現8英寸碳化硅襯底國產化替代，公司8英寸碳化硅襯底已經率先實現海外客戶批量銷售。擴產方面，該公司上海臨港工廠二期 8 英寸碳化硅襯底擴產計劃正在推進中，公司將分階段達到規劃的8英寸襯底產能。