半導體行業中,金剛石占有舉足輕重的地位。其中微波等離子體化學氣相沉積法(MPCVD)因其多項優勢,成為制備大尺寸、高品質單晶金剛石最有發展前景的技術之一。穩定的大功率微波集成系統作為MPCVD設備中不可或缺的組成部分,其性能直接影響到人造金剛石的質量和生產效率。
很多MPCVD設備制造商在采購時,最關注三個指標:高功率、高效率、高穩定性,而滿足這三大指標的核心產品就是:麥米電氣Wepex 6KW/10KW/15KW微波集成系統。
01、高功率
隨著市場變化,更多的客戶需要更高的微波功率以滿足生產更大尺寸金剛石的需求,初期的6KW微波系統在市場上的占比逐漸減小。
為了滿足市場的需求,麥米電氣對Wepex 6KW微波系統進行全面升級。此次升級,我們引入了全新的技術架構和算法優化,推出Wepex 10KW/15KW微波集成系統,能夠穩定輸出更高的微波功率,確保MPCVD腔內能夠形成穩定且高效的等離子體環境,為金剛石晶體的快速生長提供了充足的動力。
02、高效率
在追求高功率的同時,我們深知能效的重要性。通過使用軟開關電源技術,結合低損耗波導、環形器等材料以及先進的電源管理算法使Wepex系列微波集成系統實現了高效率輸出,有效降低能耗。
經過與多款不同規格的磁控管長期測試得出結論:整體微波集成系統的輸出效率達到68-72%,處于行業領先水平。
03、高穩定性
在人造金剛石的生產過程中,設備的穩定性直接關系到產品的質量和生產的連續性。
麥米電氣Wepex系列微波集成系統采用液冷散熱方式,其內部的高壓電源、環形器、磁控管均是水路連接,同時配有多個水流檢測傳感器,進一步保證整體系統的穩定性。
此外高壓電源采用精密的溫控系統、穩定的電流電壓反饋機制以及多重安全保護設計,確保整體系統在長時間、高強度的工作環境下依然能保持穩定的功率輸出。
系統測試實驗室
在以上三大關鍵指標外,麥米電氣Wepex系列微波集成系統兼具便利和環保等特性。
Wepex系列微波集成系統具有出色的兼容性和可擴展性,能夠與不同型號和規格的MPCVD設備輕松匹配。
此外配備了直觀易用的觸摸屏操作界面和智能化控制系統,支持標準MODBUS協議,PLC上位機可通過 RS485 遠程控制電源,實時讀取電源運行參數。
在環保意識日益增強的今天,綠色生產已成為企業發展的重要方向。Wepex系列微波集成系統產品在設計之初就充分考慮了環保因素,采用了環保材料和節能技術。在生產過程中,該設備減少了有害物質的排放和能源的消耗,符合現代工業生產的環保要求。
麥米電氣Wepex系列微波集成系統以其卓越的性能、便捷的操作、高效的節能等顯著優勢,在半導體制造領域帶來了新的突破,推動微波等離子體設備向著更高性能、更廣泛應用的方向邁進。如今Wepex 10KW/15KW微波集成系統已成功面市,逐漸成為廣大用戶的首選。
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