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        泓格半導體產業專用烤箱的溫度控管

        已有460次閱讀2024-04-18標簽:

         


        案例介紹

        此客戶為臺灣半導體產業烤箱設備廠,利用烤箱的光與熱相關技術,提供PCB電路板、FPD面板與觸控、半導體、電子組裝、印刷、涂裝、鞋業等各大產業的高精度生產設備。而此案例則為面板制程的熱風多層爐烤箱的溫度監控實例分享。

        嚴苛的制程條件,烤箱溫度成為質量與良率的關鍵因素

        TFT-LCD大尺寸面板制程中,許多涂布材料須經過烘烤制程,并需熱處理,其溫度則越低越好,且針對不同的程序,其適合的溫度也有所差異。

        為達成上述條件,所采取方式有批量式和單片式電熱板輸送帶等兩種。隨著面板產品的多元化,制程上的復雜度明顯提升,而烤箱溫度的穩定,則成為質量與良率的關鍵。

        ICP DAS DALI網關,PLC與DALI燈控模塊之間的橋梁

        在此案例中,客戶所使用的熱風多層爐靠內部數百顆燈管來達成加熱機制。為了讓燈管可隨制程變化,做到隨時調節、轉變,且維持穩定可靠,客戶選擇了DALI燈控模塊進行燈管的管理,并采用不受極性影響的電子式安定器,精密控制燈管輸出功率。然而,熱風多層爐所使用的PLC支持 Modbus RTU通訊協議,無法接收DALI燈控模塊的DALI通訊協議,因此選擇泓格DGW-521 DALI網關來連接PLC與DALI燈控模塊,進而達成溫度管理與燈管異常監控的需求,維持制程條件與良率質量的管控。其系統架構圖如下:

         


        結語

        過去熱風多層爐烤箱市場為國外廠商所壟斷,此客戶制造的熱風多層爐烤箱,突破長期需要仰賴從國外進口主要設備的困境,且符合提高質量與降低成本的要求,大大提升中國臺灣光電產業的競爭力,因此該客戶目前是中國臺灣唯一具有Array/CF/Cell加熱設備供應能力的廠商,也是中國臺灣設備廠商TFT LCD唯一的供貨商。

        泓格長期關注新技術研發,產品項目完整,針對各種不同通訊協議的信息轉換需求,皆有可對應的產品,因此能夠滿足客戶系統整合所需。從使用者的角度思考,通過大量累積的經驗,泓格科技將持續提供各領域業者完善的產品與服務。

         

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