10.5億擴大長晶設備產能

連城數控在1月10日發布公告稱，公司及下屬全資子公司連科半導體擬與無錫市錫山區錫北鎮人民政府簽署《錫山區工業項目投資協議書》，計劃在無錫市投資建設“第三代半導體設備研發制造項目”。目前，這一計劃有了新進展。根據連城數控發布的公告，3月22日，協議各方已正式完成《第三代半導體設備研發制造項目投資協議書》的全部簽署工作。本次協議簽署后，協議各方將按照約定積極推進本次項目投資事宜。

根據此前的公告內容，“第三代半導體設備研發制造項目”擬投資不超過10.5億元，規劃建設半導體大硅片長晶和加工設備、碳化硅長晶和加工設備的研發和生產制造基地。據了解，連城數控主要從事于光伏及半導體行業，是提供晶體材料生長、加工設備及核心技術等多方面業務支持的集成服務商。

source：連城數控

其中，在碳化硅方面，連城數控于2020年底開始對碳化硅晶體生長爐進行研發立項、2021年9月開始對碳化硅等超硬材料多線切割機研發立項。2023年上半年，連城數控取得了多項技術研發成果，如創新推出單晶爐設備“一鍵拉晶”系統、液相法碳化硅長晶爐順利下線并取得客戶數臺訂單、碳化硅立式感應合成爐科研成果通過專家團鑒定等。而隨著“第三代半導體設備研發制造項目”的實施，連城數控將擴大碳化硅設備產能，提升企業在第三代半導體領域的綜合競爭力。

業績方面，連城數控在2023年業績快報中指出，受益于全球光伏及半導體市場需求的持續穩定增長、行業技術創新及政策支持等綜合因素的共同作用，光伏及半導體企業的市場需求仍保持積極增長。2023年，公司實現營業收入600,003.79萬元，同比增長59.06%；歸母凈利潤70,539.58萬元，同比增長55.97%。

碳化硅設備企業“快馬加鞭”

碳化硅風頭正勁，設備企業迎風起跑。除了擴大產能外，碳化硅設備端也頻繁發布8英寸技術產品。

其中，在長晶爐方面，北方華創已開發了3種機型的8英寸SiC長晶設備；晶升股份8英寸SiC長晶設備已在客戶處經過批量驗證。外延設備方面，北方華創可為6/8英寸SiC產線提供外延爐；晶盛機電在SEMICON China2024上海國際半導體展上發布了8英寸雙片式碳化硅外延設備、8英寸碳化硅量測設備、12英寸全自動減薄拋光設備；納設智能、中電48所等也已成功研發8英寸SiC外延爐。另一方面，國產碳化硅設備也逐漸進入國際企業供應鏈體系。受設備認證周期較長、廠商更換成本高、穩定性風險等因素影響，國產碳化硅設備企業走向國際困難重重，但這一現狀正在被打破，比如優晶科技便于2023年底獲得一家國際半導體巨頭的碳化硅長晶設備訂單。

此外，2024年以來，多家碳化硅設備企業紛紛更新IPO動態。其中，碳化硅外延設備廠商納設智能、芯三代均已接受輔導；優晶科技、聯訊儀器也正處于輔導階段。其中，優晶科技業務中包含SiC長晶設備設計、研發、生產、服務和銷售；聯訊儀器則提供高端測試儀器和設備，產品的應用領域包含碳化硅。而晶亦精微則在2月5日順利過會。據悉，晶亦精微控股股東是中電科四十五所，實際控制人為中國電科集團。晶亦精微主營半導體設備的研發、生產、銷售及技術服務。

碳化硅從6英寸向8英寸進化的步伐正在加快，而8英寸也將是碳化硅設備大規模應用的重要戰場。從技術到產能再到訂單，國產碳化硅設備企業持續發力，助力國內襯底廠商加速迭代，在全球市場上與國際企業競爭。