據企查查信息,近期,廣州中科共芯半導體技術合伙企業(有限合伙)(以下簡稱“中科共芯”)成立,注冊資金1.80億元人民幣。
中科共芯經營范圍包括半導體分立器件制造和銷售;集成電路芯片設計及服務、產品制造和銷售;集成電路設計、制造和銷售;電子元器件制造、批發、零售;電力電子元器件制造、銷售;電子專用設備銷售等。
值得一提的是,中科共芯是由拓荊科技股份有限公司(以下簡稱“拓荊科技”)、珠海中科飛測科技有限公司(以下簡稱“珠海中科飛測”)、江蘇微導納米科技股份有限公司(以下簡稱“微導納米”)、盛美半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱“盛美上海”)聯合成立的合資公司, 上述四家股東均為國產半導體設備廠商。
從股權結構來看,中科共芯的執行事務合伙人為廣州中科齊芯半導體科技有限責任公司,持股0.0555%;拓荊科技、珠海中科飛測、微導納米均持股27.7624%,盛美上海持股16.6574%。
資料顯示,拓荊科技主要從事半導體專用設備的研發、生產、銷售與技術服務。公司主要產品包括等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備、原子層沉積(ALD)設備和次常壓化學氣相沉積(SACVD)設備三個產品系列,產品已廣泛應用于集成電路晶圓制造,以及TSV封裝、光波導、Micro-LED、OLED顯示等新技術領域。目前,拓荊科技部分產品已適配國內28/14nm邏輯芯片、19/17nm DRAM芯片和64/128層3DNANDFLASH晶圓制造產線,并成功實現產業化應用或驗證。
珠海中科飛測是深圳中科飛測科技股份有限公司(以下簡稱“深圳中科飛測”)的全資子公司。深圳中科飛測成立于2014年,是國內高端半導體檢測和量測設備廠商,目前公司已成功推出了無圖形晶圓缺陷檢測設備、圖形晶圓缺陷檢測設備、三維形貌量測設備、薄膜膜厚量測設備等產品,可被廣泛應用于28nm及以上制程集成電路制造和先進封裝環節。
微導納米是一家面向全球的半導體、泛半導體高端微納裝備制造商,公司形成了以原子層沉積(ALD)技術為核心,CVD等多種真空薄膜技術梯次發展的產品體系,專注于先進微米級、納米級薄膜設備的研發、生產與應用。
據官方信息,微導納米是國內首家成功將量產型High-k 原子層沉積設備應用于28nm節點集成電路制造前道生產線的國產設備公司。據悉,2023年上半年,微導納米通過原有的薄膜沉積類產品研發、推廣和產業化的經驗,成功推出了半導體集成電路薄膜沉積CVD產品,已在客戶端驗證。
盛美上海是一家半導體設備制造商,主要產品有單晶圓及槽式濕法清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備、立式爐管設備、前道涂膠顯影設備及PECVD設備等。目前公司研發的SAPS、TEBO兆聲波清洗技術和Tahoe單片槽式組合清洗技術,可應用于45nm及以下技術節點的晶圓清洗領城。目前,該公司PECVD設備研發進展順利。
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