根據調研，截止2023年12月20日，中國內地12英寸、8英寸和6英寸及以下的硅晶圓制造線共有210條（不含純MEMS生產線、化合物半導體生產線和光電子生產線）。
中國內地共建有12英寸晶圓廠45座，規劃產能合計238萬片，萬片），實際產量約在125-140萬片之間；在建24座，規劃產能合計125萬片（其中外資在建18萬片）；規劃興建或改造13座，規劃產能合計57萬片（其中外資規劃5萬片）；全部產能合計420萬片（其中外資產能77萬片）。
中國內地共建有8英寸晶圓廠34座，規劃產能合計168萬片，已經裝機產能152萬片（其中外資裝機35萬片），實際產量約在140萬片左右；在建5座，規劃產能合計20萬片；規劃興建或改造11座，規劃產能合計32萬片；全部產能合計220萬片。
中國內地共建有6英寸晶圓廠48座，規劃產能合計264萬片，已經裝機產能206萬片，實際產量約在180萬片左右；在建4座，規劃產能合計21萬片；規劃興建或改造6座，規劃產能合計34萬片；全部產能合計319萬片。
中國內地共建有5/4/3英寸晶圓廠63座，規劃產能合計730萬片(按4英寸計算)。
目前，中國內地建設12英寸晶圓制造生產線城市的有20個，已經投產的12英寸裝機產能分布按城市排名：無錫、北京、武漢、合肥、西安、上海位居前六位。
中國內地建設8英寸晶圓制造生產線城市的有24個，已經投產的12英寸裝機產能分布按城市排名：上海、天津、無錫、紹興、蘇州、杭州位居前六位。
本土12英寸晶圓制造裝機產能排名前五的公司（不考慮工藝水平，不包括存儲產能）：中芯國際、華虹集團、晶合集成、士蘭微、粵芯。
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