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    8英寸時(shí)代:國產(chǎn)碳化硅襯底如何升級?

    已有4563次閱讀2023-10-27標(biāo)簽:
     
    當(dāng)下,新能源汽車、5G通訊、光伏、儲(chǔ)能等下游領(lǐng)域迸射出的強(qiáng)烈需求,正驅(qū)動(dòng)著碳化硅(SiC)產(chǎn)業(yè)在高速發(fā)展,與此同時(shí)多方紛紛加強(qiáng)研發(fā)力度,旨在突破技術(shù)壁壘,搶占市場先機(jī)。

    其中,作為碳化硅突破瓶頸的重要工藝節(jié)點(diǎn),8英寸SiC襯底成為各方搶攻的黃金賽道。

     

    下一個(gè)拐點(diǎn)尺寸:8英寸SiC襯底

    作為第三代半導(dǎo)體代表材料之一,碳化硅具有更寬的禁帶寬度、更高的擊穿電場、更高的熱導(dǎo)率等性能優(yōu)勢,在高溫、高壓、高頻領(lǐng)域表現(xiàn)優(yōu)異,已成為半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域的主要發(fā)展方向之一。

     

    隨著下游需求的帶動(dòng),碳化硅正處于高速增長期,據(jù)TrendForce集邦咨詢分析2023年整體SiC功率元件市場規(guī)模達(dá)22.8億美元,年成長41.4%,并預(yù)估至2026年SiC功率元件市場規(guī)模可望達(dá)53.3億美元。

     

    從產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)上看,SiC器件的成本主要由襯底、外延、流片和封測等環(huán)節(jié)形成,襯底在SiC器件成本中占比高達(dá)~45%。業(yè)界認(rèn)為,為了降低單個(gè)器件的成本,進(jìn)一步擴(kuò)大SiC襯底尺寸,在單個(gè)襯底上增加器件的數(shù)量是降低成本的主要途徑。8英寸SiC襯底將比6英寸在成本降低上具有明顯優(yōu)勢。

     

    Wolfspeed數(shù)據(jù)顯示,從6英寸升級到8英寸,襯底的加工成本有所增加,但合格芯片產(chǎn)量可以增加 80%-90%;同時(shí)8英寸襯底厚度增加有助于在加工時(shí)保持幾何形狀、減少邊緣翹曲度,降低缺陷密度,從而提升良率,采用8英寸襯底可以將單位綜合成本降低50%。

     

    目前碳化硅產(chǎn)業(yè)以6英寸為主流,占據(jù)近80%市場份額,8英寸則不到1%。8英寸的晶圓尺寸擴(kuò)展,是進(jìn)一步降低碳化硅器件成本的關(guān)鍵。若達(dá)到成熟階段,8英寸單片的售價(jià)約為6英寸的1.5倍,且8英寸能夠生產(chǎn)的晶粒數(shù)約為6英寸SiC晶圓的1.8倍,晶圓利用率顯著提高。

     

    顯然,6英寸向8英寸擴(kuò)徑的行業(yè)趨勢明確,8英寸SiC襯底蘊(yùn)含著國內(nèi)廠商實(shí)現(xiàn)彎道超車的機(jī)遇,TrendForce集邦咨詢研究數(shù)據(jù)指出,目前8英寸的產(chǎn)品市占率不到2%,并預(yù)測2026年市場份額才會(huì)成長到15%左右。

     

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