在這樣一個產業周期交替，充滿了挑戰與機遇的2022年，國內半導體產業格局發生了什么變化？取得哪些方面的進步？又面臨著哪些挑戰呢？

透過2022年年報，我們或許可以一窺國內半導體產業的上述變化。為此，芯師爺推出“國內半導體上市企業年報觀察”專題，此為第一期，主要聚焦國內半導體設備上市企業。

目前，A股半導體設備公司中，已有超10家企業披露了2022年年報、業績快報或業績預告。營收大幅增長、訂單創新高成為這些年報/業績快報/業績預告中的高頻詞和關鍵詞。

其中，多家A股半導體設備公司凈利潤增長超100%，包括中微公司、拓荊科技、芯源微、盛美上海、北方華創、華海清科等。

此外，多家半導體設備企業表示，在手訂單飽滿，為后續業績增長提供保障。其中，中微公司2022年新簽訂單同比增長超50%；拓荊科技新增訂單同比增加 95%；芯源微表示，前道涂膠顯影機已陸續開始放量，將迎來批量訂單的增長拐點。

對于營收大幅增長的原因，多家半導體設備企業都提及系國內半導體行業設備需求增加，產品市場占有率持續提升。

對此，東吳證券認為，國產半導體設備企業在薄膜沉積、刻蝕、量/檢測、CMP、清洗等領域均已具備一定先進制程設備技術積淀，在海外制裁升級背景下，半導體設備進口替代邏輯持續強化，看好晶圓廠加速國產設備導入，2023年半導體設備國產化率提升有望超出市場預期。此外，擴產預期上修疊加產業拐點臨近，2024年半導體設備需求有望加速放量。
 

3月30日，中微公司發布2022年年度報告。

報告期內，中微實現營業收入47.4億元，同比增長52.5%；同期實現歸母凈利潤11.7億元，同比增長15.66%；實現扣非后歸母凈利潤9.19億元，同比增長183.44%。

圖源:中微公司2022年年報

中微公司董事長、總經理尹志堯表示，2022年成為中微成立啟動以來，經營成績最好的一年，各項營運的KPI指標已達到國際最先進半導體設備企業的水平。

對于營收大幅增長，中微表示，公司主打產品等離子體刻蝕設備在國內外持續獲得更多客戶的認可，市場占有率不斷提高，在國際最先進的 5 納米芯片生產線及下一代更先進的生產線上均實現了多次批量銷售。

另一類主打產品 MOCVD 設備在新一代Mini-LED 產業化中，在藍綠光 LED 生產線上取得了絕對領先的地位。另外，公司的各種新產品開發，比如用于更先進微觀器件制程的薄膜設備和刻蝕設備，也取得了可喜的進展。

據報告，中微2022年新簽訂單為63.20億元，同比增長約53.03%。此外，在研發上，2022年中微公司研發投入為9.29億元，同比增長27.61%，占收入比例為19.59%。

此外，尹志堯透露，中微正在進行三個重大項目建設。在南昌市約14萬平方米的生產和研發基地已基本建成完工，部分生產潔凈室2022年7月投入試生產；公司在上海市臨港新片區的18萬平方米的生產和研發基地主體建設已完成，2023年將部分投入使用；上海市臨港新片區滴水湖畔約10萬平方米的研發中心暨總部大樓也在順利建設。兩年內，公司會有比現在十五倍大的廠房陸續建成，使中微有足夠的研發、生產和營運空間。
 

拓荊科技：扭虧為盈，凈利潤增超400%

4月18日，拓荊科技發布2022年年報。

拓荊科技2022年營收創新高，錄得17.06億元，同比增長125.02%；實現歸母凈利潤3.69億元，同比增長438.09%。這也是拓荊科技首次實現盈利，根據科創板相關規定，4月19日起，拓荊科技股票名稱成功摘“U”。

對于業績大幅增長的原因，拓荊科技解釋，受益于國內半導體行業良好的發展態勢，國內半導體行業設備需求增加，同時公司產品競爭力持續增強，銷售訂單大幅增加，營業收入維持高增長趨勢。

圖源：拓荊科技2022年年報

拓荊科技聚焦半導體薄膜沉積設備，產品主要包括以PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）、ALD（原子層沉積）和SACVD（次常壓化學氣相沉積）為主的薄膜設備系列產品。其中，核心產品PECVD系列應用規模持續擴大，2022年實現銷售收入15.63億元，同比增長131.44%；ALD系列產品中PE-ALD設備已實現產業化應用，2022年實現該系列產品銷售收入3259萬元，同比增長13.85%；2022年SACVD系列產品應用工藝覆蓋度和市場占有率得到提升，實現銷售收入8948萬元，同比增長117.39%；

拓荊科技表示，將持續拓展以 PECVD、ALD、SACVD 及 HDPCVD 為主的薄膜系列產品工藝應用領域，獲得邏輯芯片、存儲芯片等領域現有客戶重復訂單及新客戶訂單。

截至報告期末，拓荊科技在手銷售訂單金額為 46.02 億元（不含 Demo訂單）， 2022年簽訂銷售訂單金額為43.62 億元（不含 Demo 訂單），新增訂單與上年同期相比增加 95.36%，為后續業績的增長提供了有力保障。

4月17日，芯源微發布2022年年報。

2022年，芯源微實現營業收入13.85億元，同比增長67.12%；歸屬上市公司股東的凈利潤為2億元，同比增長158.77%，經營性凈現金流1.93億元，同比大幅由負轉正。

2022年新簽訂單約22億元，創歷史新高，對此，芯源微表示，前道涂膠顯影機已陸續開始放量，將迎來批量訂單的增長拐點。

目前，芯源微已經形成了涂膠、顯影、清洗、刻蝕、去膠五大系列產品，產品應用領域覆蓋前道芯片制造、圓片級封裝、化合物半導體三大領域。

圖源：芯源微2022年年報

在產品銷售上，2022年，芯源微前道涂膠顯影機簽單實現了快速放量，其中offline、I-line、KrF機臺均實現批量銷售。芯源微表示，隨著產品不斷成熟，同時疊加國際貿易的不確定性增強，公司前道涂膠顯影機國內市場份額有望實現快速提升。

此外，芯源微報告，前道物理清洗機實現批量銷售近百臺套，已廣泛應用于中芯國際、上海華力、青島芯恩、廣州粵芯、上海積塔、廈門士蘭等一線大廠，國內市占率穩步上升；后道先進封裝領域用涂膠顯影設備、單片式濕法設備實現批量銷售超百臺套；化合物、MEMS、LED等小尺寸領域用涂膠顯影設備、單片式濕法設備實現批量銷售超百臺套。

在技術突破上，芯源微全新發布的浸沒式高產能涂膠顯影機可以匹配所有主流光刻機聯機量產，以及覆蓋國內28nm及以上所有工藝節點。

盛美上海：年報首秀，營收、利潤雙增

2月24日，盛美上海亮出2022年“成績單”。在這份年報“首秀”中，營收和扣非歸母凈利潤分別錄得同比增長77.25%和254.27%的亮眼數據。

2022 年盛美上海營業收入為 28.73 億元，同比增長 77.25%。對此，盛美上海解釋，受益于國內半導體行業設備需求的不斷增加，銷售訂單持續增長；新客戶拓展、新市場開發等方面均取得一定成效；新產品得到客戶認可，訂單量穩步增長。此外，歸母凈利潤 6.68 億元，同比增長 151.08%；扣非歸母凈利潤6.90 億元，同比增長 254.27%。

圖源：盛美上海2022年年報

盛美上海的主營產品包括單晶圓及槽式濕法清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備、立式爐管設備和前道涂膠顯影設備和等離子體增強化學氣相沉積設備等，主要應用于先進集成電路制造與先進晶圓級封裝制造上。

2022 年，盛美上海的半導體清洗設備實現收入20.78 億元，同比增長約 96.85%；其他半導體設備（電鍍、立式爐管、無應力拋銅等設備）收入為 5.18 億元，同比增長約 89.19%；先進封裝濕法設備收入為 1.60 億元，同比下降約 26.57%。

在產品研發上，2022年盛美上海推出了包括 ALD（熱原子層沉積）立式爐 UltraFnA、前道涂膠顯影 Ultra LithTM Track 設備等在內的多款新產品和工藝設備。截至去年底，盛美上海擁有已獲授予發明專利384項。

展望未來，盛美上海擬以超募資金2.45億元向全資孫公司盛美韓國增資，以新建并實施盛美韓國半導體設備研發與制造中心項目。

4月14日，北方華創發布2022年業績快報。

2022年度北方華創實現營業收入146.88億元，同比增長51.68%；營業利潤28.67億元，同比增長131.92%；歸母凈利潤23.53億元，同比增長118.37%；扣非歸母凈利潤為21.06 億元，同比增長161.07%。2022 年北方華創歸母凈利率和扣非歸母凈利率分別為 16.02%和 14.34%。

北方華創將營業收入增長歸結于半導體設備市場占有率提高，銷售訂單增長。此外，北方華創表示，2022年電子工藝裝備和電子元器件業務均取得了良好的經營成果。

從同日發布的2023年第一季度業績預告來看，北方華創營收、利潤高增長態勢有望延續。2023年第一季度北方華創實現營業收入36--40億元，同比增加68.56%-87.29%；歸母凈利潤5.6--6.2億元，同比增長 171.24%-200.30%。

華海清科：營收、利潤增超100%

2月27日，華海清科發布2022年度業績快報。報告期內，華海清科實現營業總收入 16.82億元，同比增長 109.03%；實現利潤總額 5.7億元，同比增長 191.38%；實現歸母凈利潤5.15億元，同比增長 159.97%；實現扣非歸母凈利潤 3.74億元，同比增長 228.15%。

對于業績大幅增長，華海清科表示，主要原因是市場需求增加以及客戶對公司產品認可度的繼續提升，公司新增訂單穩步增長，在手訂單不斷增加，為公司業績的快速增長提供了有力保障，收入規模持續增長。

2月26日，富創精密發布業績快報，2022年實現營業總收入15.43億元，同比增長83.05%；實現歸母凈利潤2.4億元，同比增長 89.71%；實現扣非歸母凈利潤1.8億元，同比增長 140.03%。

對于營收大幅增加，富創精密表示，主要原因是受益于國內外半導體市場需求增長，以及零部件國產化需求拉動，公司 2022 年來自中國大陸地區收入大幅增長，同時公司不斷加大市場開拓力度，核心產品收入（工藝零部件，模組產品）持續穩健增長。