分地區來看，盡管中國大陸在2022年的投資步伐同比放緩了5%，但中國大陸仍連續第三年成為最大的半導體設備市場，銷售額達283億美元；中國臺灣是第二大設備支出目的地，增長8%，達268億美元；韓國的設備銷售額縮減了14%，達215億美元；歐洲的年度半導體設備投資激增了93%，而北美則增長38%。世界其他地區和日本的銷售額分別同比增長34%和7%。
此外，SEMI指出，2022年晶圓制程設備銷售額增加8%，其他前段設備銷售增加11%，封裝設備則減少19%，測試設備減少4%。
SEMI總裁兼首席執行官Ajit Manocha表示：“2022年半導體制造設備銷售額創歷史新高，源于該行業正在努力增加工廠產能，以支持高性能計算和汽車等關鍵終端市場的長期增長和創新。此外，這些結果還反映了各地區為避免未來半導體供應鏈受疫情限制而進行的投資和決心。”
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