株式會社村田制作所開發了工業設備專用高精度數字MEMS陀螺儀加速度組合傳感器“SCC400T系列”，并于2022年10月啟動了量產。

隨著工業設備無人化與自動化的加速，準確獲取物體位置及傾斜變化等數據的需求不斷增加。此外，隨著工業設備的高功能化，搭載的模塊亦不斷增多，從而要求傳感器自身的小型化。

鑒于此，本公司采用MEMS技術開發了本產品，實現了陀螺儀傳感器和加速度傳感器的小型封裝。

通過組合5DoF陀螺儀加速度傳感器與1DoF陀螺儀傳感器的產品陣容，也可提供6DoF解決方案。陀螺儀傳感器X/Z軸的測量范圍均為±300°/s，加速度計不僅可測量1次輸出±6g，還可測量2次輸出±8g。

主要特征：

§ 實現陀螺儀及加速度計低噪聲的新架構

§ 優異的線性特性與工作溫度范圍內的偏移穩定性

§ 單一封裝，可組合5DoF高性能陀螺儀傳感器與加速度傳感器

§ 豐富的自我診斷功能

§ 高度可靠的村田3D MEMS設計

§ 基于獨立低通濾波器控制的2次陀螺儀輸出

§ 堅固的SOIC塑料封裝，無鉛焊接工藝與SMD安裝滿足RoHS標準

產品主要規格

主要用途

慣性測量單元（IMUs）

機器人

機械控制系統

平臺控制與穩定化

動作分析

精準定位（GNSS）

村田制作所可提供demo演示器進行傳感器測評：

可使用demo演示器作為測評用數據記錄儀

驗證設計階段的產品性能

展示產品特性、功能的demo演示器

村田的MEMS評估單元

村田的MEMS評估單元是用于確認MEMS傳感器的功能及主要特性的產品。將評估板接入PC的USB接口，使用GUI (圖形用戶界面)軟件進行操作。

村田的MEMS評估板可對應各類MEMS傳感器。使用帶芯片的PCB或外部擴充板與 MEMS傳感器評估板相連接。