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    邁向八英寸的SiC,我國差距沒想象中大!

    已有16246次閱讀2022-07-07標簽:
       據“第三代半導體風向”不完全統計顯示,目前Wolfspeed、羅姆、意法半導體、安森美、II-VI、Soitec、山西爍科以及中科院物理所等企業和機構已經成功研發出了8英寸SiC襯底,預計2022-2025年會逐步量產上市。

      眾所周知,在硅材料和芯片上,我國半導體企業歷經了一段艱苦而困難的追趕過程,那么在八英寸SiC上,我國的實際表現又如何呢?在具體介紹這個之前,我們先看一下碳化硅的優勢。

      按照山東大學晶體材料實驗室、南砂晶教授徐現剛在早前于南沙舉辦的“2022中國·南沙國際集成電路產業論壇——寬禁帶半導體論壇”上所說,碳化硅的熱導率為5,這個數字僅次于金剛石(熱導率22),但遠遠高于砷化鎵,由此可以看到它的熱導率性能非常好;與硅相比,碳化硅的帶隙是前者的3倍,飽和電子速率是前者的2倍,這從物理性質上決定了它有非常好的性質,有很好的應用前景。

      “碳化硅還有一個優點,那就是它的硬度和金剛石差不多,高達9.8(金剛石是10)。另外,它的光學方面也有很好的優點,也僅次于金剛石。這些優點決定了上世紀50年代在尋找半導體材料的時候,就找到了碳化硅,但由于材料技術和設備的限制,這種材料一直默默無聞,沒有發展起來。但它們在‘高功率、高頻、高溫、高效’方面給我們提供了可能性”徐現剛教授補充說。

      徐現剛教授表示,碳化硅材料的發展有一段很悠長的歷史。自1885年瑞典的科學家發明了碳化硅生長裝置以來(這個裝置目前我們還在沿用),我們就在其上把沙子和木炭這樣的核心原材料加熱到1500℃左右,通過導電,引發自蔓延反應,形成碳化硅。

      徐現剛教授同時指出,碳化硅的原材料來源于沙子,也就是二氧化硅,常用的是高純石英礦。而從碳化硅發明到現在,大部分時間的用途是非單晶的,都是用在磨料、砂輪、陶瓷和纖維上。但在1955年Lely發明了一個后來被稱為“Lely法”的制造工藝之后,碳化硅制造又有了新的選擇。

      不過,徐現剛教授也直言,傳統的“lely法”生長的難度非常高,這也是導致碳化硅單晶在最近六七十年的發展落后于硅單晶的原因。但在科學家于1978年修正了Lely法后,形成了我們目前常用的第三種方法。

      “目前主流的單晶生長方法就是PVT和高溫CVD法,液相法在最近也逐步進入了大家的視線。對于這些制造方法來說,由于其需求的溫度非常高(熔體達到3000℃以上、5000kpa大氣壓以下),所以用傳統長單晶的方法很難實現,帶來了難度的增加。另外,雖然它們都叫碳化硅,但碳化硅還有一個同數據構體,也就是說元素一樣、結構不一樣(現在在自然界可以存在200多種類型),這樣很難控制它的唯一性生長。和傳統的硅單晶相比,碳化硅單晶生長是黑盒子系統,生長過程我們不可看,這些都增加了碳化硅單晶生長的難度。”徐現剛教授說。

      即使如此難,但據徐現剛教授介紹,在過去幾十年的發展中,我國在碳化硅單晶研究也取得幾個階段性的進展:

      第一階段

      90年代光電的應用,碳化硅作為襯底,成功應用在光電領域,推動了碳化硅光電的進展;

      第二階段

      微波電子。由于國家的重大需求,推動了它在微波電子上的應用,我們現在做的微波電子不比國外差。

      第三階段

      功率電子的應用。希望上下游通力合作,在這方面趕超國外。

      他進一步指出,國際上十年前突破了6英寸襯底技術,在“十三五”期間更是突破了8英寸襯底關鍵技術,并于今年成功導入量產。而我國在這上面也有三十多年的研究歷史。而他所在的山東大學從2000年開始啟動碳化硅單晶的生長工作,中間克服了多項關鍵技術。2011年,他們對其進行了產業化轉化,并成功轉化到山東天岳,把我們的襯底制備技術推向了市場。

      “經過多年的理論和技術攻關,我們也把碳化硅單晶直徑從6英寸擴展到了8英寸,通過X光分析,這些晶體質量還是不錯的。”徐現剛教授在演講中表示。

      據他所說,8英寸單晶的研發和跟種莊稼一樣,要有種子才能長出來。所以在制備的時候,首先第一步要得到種子,也就是籽晶。現在的8英寸時代,國際和國內都重視對種子的培養,所以我們第一代培養的是種子,并不是半晶圓,沒有進行摻雜,后續有了種子,我們才會進行第二步的摻雜。“我們從2018年開始攻關了好久,突破8英寸的種子是非常難的,每次晶體從150mm邁向200mm的時候,每次只進展幾毫米,花費時間非常長,所以科研經費也非常重要,能給我們投入一點,我們就能進步一點。”徐現剛教授教授強調。

      在最后問到我們與國際在八英寸上的差距時,徐現剛教授回應道:“國外在‘十三五’期間攻克了8英寸,且很快進行了導入量產。我們國內非常重視,但這與我們科研實力條件的布局有關。目前我們已經有了8英寸,差距也就是在兩到三年之內。隨著大家的積極投入,這個時間的差距會越來越小”。
     
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