近年來，將電子器件微型化以生產細胞大小的機器人一直是人們追求的目標，得益于電子、磁性和光學系統的技術突破，單單研發一種小體積、低成本、低功耗的機器人并不難，從可折疊微型機器人到微型機械手，在機器人領域不斷產生了更智能、細分功能的微型機器人。
然而，由于缺乏合適的微米級致動器系統，無法與當前的半導體工藝無縫集成，且無法正常響應標準電子控制信號，這一領域的發展一直受到限制。
現在，美國賓夕法尼亞大學電氣與系統工程教授馬克·米斯金及其團隊成功研發出可行走的微型機器人 ，研究人員展示了一類新型電化學致動器，克服了這一技術問題。這些致動器構成了機器人的雙腿，其尺寸小于 0.1 毫米，當受到激光刺激時，就會彎曲，產生行走動作。研究人員在一塊 4 英寸大小的硅片上制造了超過 100 萬個行走機器人，這些機器人由板載硅太陽能電池驅動。
其研究結果已發表在《自然》上。
這些新型機器人大約有5微米厚（一微米是百萬分之一米），40微米寬，長度從40到70微米不等。每一個機器人都由一個由硅光電材料制成的簡單電路（基本上起軀干和大腦的作用）和四個起腿部作用的電化學執行器組成。
盡管這些微小的機器在功能上是原始的——它們速度不快，計算能力也不強，但它們與標準微芯片制造兼容而進行的雙腿創新為這些微型機器人的智能化、快速化和大規模生產打開了大門。
毫無疑問，這些機器人是高科技的，它們的工作電壓很低（200毫伏），但對于它們的尺寸來說，卻仍然是強壯有力的。它們用標準的光刻工藝制造的，這意味著其可以并行制造：大約100萬個機器人可以安裝在一個4英寸的硅片上。
目前，研究人員正在探索用更復雜的電子設備和板載計算來改進機器人，而這些改進有一天可能會導致成群結隊的微型機器人在材料中爬行重組，或者縫合血管，或者被集體派去探測人腦的大片區域。
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