隨著小型化高密度封裝的出現(xiàn),對高速及高精度的裝配設備越來越高。為滿足市場需要,環(huán)球儀器的FuzionSC平臺,為廠家提供一個全面的解決方案以應對現(xiàn)今最具挑戰(zhàn)性的半導體封裝應用,以表面貼裝速度實現(xiàn)半導體封裝的精準技術。
FuzionSC平臺能應對倒裝芯片、系統(tǒng)封裝、2.5D、封裝疊加、擴散型晶圓級封裝、嵌入式封裝、以及共形屏蔽應用。
那么,FuzionSC平臺如何實現(xiàn)±10微米精度及< 3微米重復貼裝精度呢?
FuzionSC平臺的八大優(yōu)勢:
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高強度的框架結構,角位對角位精準度相差不到一微米
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專有的VRM線性馬達:熱效應穩(wěn)定、雙驅動、1微米分辨率
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極優(yōu)化的運動控制,重復精度可達亞微米
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熱環(huán)境管理
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高精度的視覺系統(tǒng),位置映射測繪和校正程序
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精準的二步式整板基準點校正
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拾取前檢視
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通過AOI反饋調校貼裝
FuzionSC還具備兩大系統(tǒng)確保精度:
1\精度管理系統(tǒng)
結合硬件平臺和相關軟件,令FuzionSC的精度時刻保持在最佳狀態(tài)。
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采用有刻度的玻璃板及玻璃仿真元件來測量及自動優(yōu)化貼裝精度
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將每個貼裝軸的X、Y及角度校齊
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確保達亞微米的工藝重復精度
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用戶界面顯示X、Y偏差歷史
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通過時間/板數(shù)為隔段,或溫度限度來激活系統(tǒng)
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2\Precisor上部特征檢測站
作為一個極精準的檢測設備,確保達至最高的精準度,大大優(yōu)化了貼裝精準度。
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通過檢測元件本體與上部特征來提供準確的上部特征對齊
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可采用群組拾取及貼裝來加快速度
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可真空駐留多達7個元件
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可選擇在現(xiàn)場升級改造
FuzionSC貼片機兩大系列
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