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    FuzionSC平臺可以實現7倍的工藝產量。真的嗎?

    已有51084次閱讀2018-09-11標簽:

    環球儀器自1990年以來,至今已售出數千臺設備應對先進半導體封裝應用,累積了不少經驗。在設計新一代的先進半導體封裝組裝設備時,務求達到高速、高精度及高產量。

     

    傳統的平臺因受制于晶圓尺寸和形狀,限制了組裝尺寸,因而未能提升產量。為了增加產量,環球儀器的FuzionSC具有配備更大板特殊的功能,工作面積可以擴大至625毫米x 813毫米。

     

    Innova直接晶圓送料器能處理最大至300毫米的晶圓來計算,則在625毫米x 813毫米的工作面積上,可同時處理7個晶圓,直接將產量提升7倍。

     

    雖然FuzionSC平臺的工作面積增大了,但其速度及精度絲毫不減。


    憑著以下工藝,實現±10微米精度及< 3微米重復貼裝精度。

    • 高強度的框架結構,角位對角位精準度相差不到一微米

    • 專有的VRM線性馬達:熱效應穩定、雙驅動、1微米分辨率

    • 極優化的運動控制,重復精度可達亞微米

    • 熱環境管理

    • 高精度的視覺系統,位置映射測繪和校正程序

    • 精準的二步式整板基準點校正

    • 拾取前檢視

    • 通過AOI反饋調校貼裝

    • 上部校準工藝

    • 精度管理系統在生產時確保精準



      憑著以下工藝,實現先進封裝產出高達10K cph,表面貼裝高達30K cph的速度。

       

      • 雙驅動的VRM線性馬達結合快速運動反應及降低穩定時間

      • 可配置雙懸臂結構,配置多個貼裝頭

      • 多貼裝頭/軸減少由拾取至貼裝的周期次數

      • 群組拾取及群組浸蘸能最大化周期效率

      • 飛行視覺校正,視野范圍寬廣


        FuzionSC貼片機兩大系列


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